Sumitomo Heavy Industries zal sic ion implantatiemachines lanceren in Japan
Volgens de rapporten van buitenlandse media zal de dochteronderneming Sumitomo Heavy Industries, Sumitomo Ion Technology, ionenimplantatiemachines lanceren voor Silicon Carbide (SIC) Power Semiconductors op de markt al in 2025.De meeste apparatuur die in het SIC-proces wordt gebruikt, is hetzelfde als traditionele siliciumproductielijnen, maar vanwege de hoge hardheid van SiC is speciale productieapparatuur vereist, zoals ionenimplantatiemachines met hoge temperatuur, koolstoffilmsputtermachines, massaproductie High-Temperatuurgangenovens, enz. Onder hen is de aanwezigheid van ionenimplantatiemachines bij hoge temperatuur een belangrijk criterium voor het meten van SiC-productielijnen.
Volgens het rapport injecteert ionenimplantatieapparatuur onzuiverheidsionen zoals fosfor en boor in de wafel om zijn elektrische eigenschappen te veranderen.Voor siliciumwafels wordt warmtebehandeling uitgevoerd na ionenimplantatie om de kristalliniteit te herstellen.Voor SIC is het echter moeilijk om de kristalliniteit alleen te herstellen door warmtebehandeling na ionenimplantatie.De gebruikelijke methode is om de SIC -chip te verwarmen tot ongeveer 500 graden Celsius en vervolgens ionenimplantatie en warmtebehandeling uit te voeren.Vanwege het complexe bedrijfsproces hebben SIC -halfgeleiders het probleem van lagere opbrengst dan silicium halfgeleiders.
Deze keer is Sumitomo Heavy Industries Ion Technology van plan om de ionenimplantatiemethode van de gelanceerde producten te verbeteren, met behoud van de SIC -kwaliteit en de toenemende productie.
Vanwege factoren zoals hoge technische moeilijkheid en moeilijke procesvalidatie, zijn er hoge concurrentiebarrières en een hoge industrieconcentratie in de industrie van de ionenimplantatiemachine.Over het algemeen wordt de hele markt voornamelijk gemonopoliseerd door American Applied Materials Company en American Axcelis Company, goed voor meer dan 70% van de wereldmarkt.
Uit de nieuwste gegevens van Trendforce Consulting blijkt dat SIC nog steeds zijn penetratie in applicatiemarkten zoals auto's en hernieuwbare energie versnelt, waarbij stroomdichtheid en efficiëntie uiterst belangrijk zijn.De algemene marktvraag zal de komende jaren een groeitrend behouden, en er wordt geschat dat de wereldwijde marktomvang van SIC Power Device naar verwachting in 2028 9,17 miljard dollar zal bereiken.
Deze keer is Sumitomo Heavy Industries Ion Technology van plan om de ionenimplantatiemethode van de gelanceerde producten te verbeteren, met behoud van de SIC -kwaliteit en de toenemende productie.
Vanwege factoren zoals hoge technische moeilijkheid en moeilijke procesvalidatie, zijn er hoge concurrentiebarrières en een hoge industrieconcentratie in de industrie van de ionenimplantatiemachine.Over het algemeen wordt de hele markt voornamelijk gemonopoliseerd door American Applied Materials Company en American Axcelis Company, goed voor meer dan 70% van de wereldmarkt.
Uit de nieuwste gegevens van Trendforce Consulting blijkt dat SIC nog steeds zijn penetratie in applicatiemarkten zoals auto's en hernieuwbare energie versnelt, waarbij stroomdichtheid en efficiëntie uiterst belangrijk zijn.De algemene marktvraag zal de komende jaren een groeitrend behouden, en er wordt geschat dat de wereldwijde marktomvang van SIC Power Device naar verwachting in 2028 9,17 miljard dollar zal bereiken.