Uitdaging 5nm enkele belichting!ASML en Zeiss ontwikkelen een nieuwe generatie Hyper Na EUV -apparatuur
ASML is begonnen met het ontwikkelen van de volgende generatie geavanceerde lithografie -apparatuur om zich in het volgende decennium voor te bereiden op de chipindustrie.Jos Benschop, de uitvoerend vice-president van het bedrijf van het bedrijf, onthulde dat ASML en haar exclusieve optische partner Carl Zeiss de ontwikkeling van een hyper na lithografiemachine van 5-nanometer resolutie zijn begonnen en voegde eraan toe dat deze technologie voldoende zal zijn om aan de industriële behoeften te voldoen in 2035 en daarna.
ASML is pas onlangs begonnen met het verzenden van de meest geavanceerde apparatuur van de industrie, die een enkele blootstelling van 8 nanometers kan bereiken.Oudere apparatuur daarentegen vereist meerdere blootstellingen om vergelijkbare resoluties te bereiken.
Benschop wees erop dat het bedrijf ontwerponderzoek uitvoert met Zeiss, met als doel een systeem te bereiken met een numerieke opening (NA) van 0,7 of meer, en er is nog geen specifiek tijdschema voor vermelding ingesteld.
Numerieke opening (NA) is een belangrijke indicator van het vermogen van een optisch systeem om licht te verzamelen en te focussen, en is ook een sleutelfactor bij het bepalen of het circuitpatroon fijn op de wafer kan worden geprojecteerd.Hoe groter de NA en hoe korter de golflengte van licht, hoe hoger de drukresolutie.
De NA van de huidige standaard EUV -apparatuur is 0,33 en de nieuwste generatie hoge NA EUV is toegenomen tot 0,55.ASML beweegt zich naar NA 0,7 of ultrahoge NA (Hyper NA), waarvoor het herontwerp van verschillende belangrijke systemen vereist is.
ASML heeft momenteel de eerste partij NA EUV-apparatuur geleverd aan Intel en TSMC, maar Benschop zei dat grootschalige adoptie nog steeds tijd nodig heeft.De industrie moet eerst de prestaties van het nieuwe systeem verifiëren en ondersteunende materialen en tools ontwikkelen voordat het volledig kan worden gelanceerd."De introductie van deze nieuwe apparatuur is vergelijkbaar met de innovatieve tools die in de loop der jaren zijn gelanceerd. Het duurt meestal een paar jaar om in de massapodium te komen. Klanten moeten leren hoe ze het kunnen bedienen, maar ik geloof dat het binnenkort zal worden gebruikt in chipproductieprocessen met hoge capaciteit.